出展者情報

[Bv-15] AOV(株)

■１. グローブボックス内収納／接続型蒸着装置 ■2. 真空蒸着用基板加熱機構（赤外線ランプ、赤外線レーザ、SiC、白金、グラファイト、シース等） ■３. 複合型PLD/MBE蒸着装置 ■４. 多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置