[18a-143-1~9] 6.6 プローブ顕微鏡

[18a-143-8] 散逸力変調方式走査型容量原子間力顕微鏡によるキャリア密度分布計測

〇(DC)潤間 威史¹、佐藤 宣夫²、山本 秀和²、岩田 太¹ (1.静岡大院創造科技、2.千葉工大)

キーワード：散逸力変調