[18p-136-1~15] 3.7 レーザープロセシング

△ [18p-136-14] 液体窒素中でのパルスレーザー照射によるSiC表面窒化特性

〇嶋林 正晴¹、金子 拓真¹、佐々木 浩一¹ (1.北大工)

キーワード：SiC、レーザーアブレーション