[18p-PA1-1~12] 1.6 超音波

△ [18p-PA1-3] 直線集束ビーム超音波材料解析システムによるSiO₂薄膜装荷36°YカットLiTaO₃の評価

〇末永 凌大¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、大橋 雄二²、荒川 元孝²、櫛引 淳一² (1.山梨大学、2.東北大学)

キーワード：漏洩弾性表面波、超音波材料解析システム

直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)システムを用いて，SiO₂薄膜を装荷した36°YカットLiTaO₃基板について、試料上を伝搬する漏洩弾性表面波(Leaky SAWs: LASWs)の位相速度と規格化伝搬減衰の測定を行った。