[18p-PA4-1~20] 3.8 光計測技術・機器

[18p-PA4-12] GdF₃薄膜を用いた真空紫外光検出器の開発

〇大谷 潤¹、鈴木 健太郎¹、加藤 誠也¹、小野 晋吾¹、加瀬 征彦² (1.名工大、2.ウシオ電機)

キーワード：真空紫外光検出器、フッ化物薄膜、パルスレーザー堆積法