[18p-PB3-1~95] 17 ナノカーボン（ポスター）

[18p-PB3-81] ALD成長In₂O₃薄膜のSe化

〇近野 健人¹、木津 たきお²、塚越 一仁²、上野 啓司¹ (1.埼大院理工、2.物材機構)

キーワード：層状物質、セレン化、In2Se3

層状13族カルコゲナイドは，グラフェン類似の積層構造を持つ層状物質である。この物質群は電荷移動度や光応答などの面で優れた性質を持ち，素子応用が期待されている。本研究では三セレン化二インジウムIn₂Se₃の薄膜形成を，原子層堆積法(ALD)により成膜したIn₂O₃薄膜をセレン化することで試みた。ラマン散乱分光，X線光電子分光より，In₂Se₃薄膜の形成を確認したが，膜の均一性向上が今後の課題である。