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[18p-PB3-88] テープ剥離したGeHの電気特性評価
キーワード:ゲルマネン
グラフェンの発見以来、二次元材料は、電子デバイス、センサー、および触媒として多くの注目を集めている。この中で、半導体製造プロセスとのマッチングを考慮すると、シリコン、あるいはゲルマニウムが有力候補となる。シリコンの単原子層はシリセンと呼ばれ、プロトタイプのFET素子が報告されたが[1]、大気中での安定性が最大の課題である。そこで、我々は、大気中で安定なゲルマニウムの二次元材料(水素終端ゲルマネン:GeH)に着目し、その電気特性を評価した。