2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

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17 ナノカーボン » 17 ナノカーボン(ポスター)

[18p-PB3-1~95] 17 ナノカーボン(ポスター)

2018年9月18日(火) 16:00 〜 18:00 PB (白鳥ホール)

16:00 〜 18:00

[18p-PB3-88] テープ剥離したGeHの電気特性評価

三浦 篤志1、中野 秀之1、石川 剛1、東 康男2、真島 豊2 (1.豊田中研、2.東工大)

キーワード:ゲルマネン

グラフェンの発見以来、二次元材料は、電子デバイス、センサー、および触媒として多くの注目を集めている。この中で、半導体製造プロセスとのマッチングを考慮すると、シリコン、あるいはゲルマニウムが有力候補となる。シリコンの単原子層はシリセンと呼ばれ、プロトタイプのFET素子が報告されたが[1]、大気中での安定性が最大の課題である。そこで、我々は、大気中で安定なゲルマニウムの二次元材料(水素終端ゲルマネン:GeH)に着目し、その電気特性を評価した。