[18p-PB3-1~95] 17 ナノカーボン（ポスター）

[18p-PB3-88] テープ剥離したGeHの電気特性評価

〇三浦 篤志¹、中野 秀之¹、石川 剛¹、東 康男²、真島 豊² (1.豊田中研、2.東工大)

キーワード：ゲルマネン

グラフェンの発見以来、二次元材料は、電子デバイス、センサー、および触媒として多くの注目を集めている。この中で、半導体製造プロセスとのマッチングを考慮すると、シリコン、あるいはゲルマニウムが有力候補となる。シリコンの単原子層はシリセンと呼ばれ、プロトタイプのFET素子が報告されたが[1]、大気中での安定性が最大の課題である。そこで、我々は、大気中で安定なゲルマニウムの二次元材料（水素終端ゲルマネン：GeH）に着目し、その電気特性を評価した。