[19a-133-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

△ [19a-133-11] BiFeO₃薄膜を用いた圧電MEMS振動発電素子の高出力化

〇(D)荒牧 正明¹、吉村 武¹、村上 修一²、佐藤 和郎²、藤村 紀文¹ (1.大阪府大工、2.大阪技術研)

キーワード：BiFeO3、非鉛、非線形

振動発電素子において、加速度を増大していくと非線形効果により発電効率が低下する。非線形効果を低減した素子を設計し、BiFeO₃薄膜を用いて圧電MEMS振動発電素子を作製した。低加速度領域では理論限界値の70%に相当する発電特性が得られ、同じ構造で作製したPZT素子と比較した結果、BiFeO₃を用いた素子がPZTを用いた素子の出力電力を上回り、0.3G_rmsにおいて1.2 µWの発電量が得られた。