[19a-133-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

[19a-133-4] PLD法を用いた(Bi,Na)TiO₃-BaTiO₃系厚膜の作製とその特性評価

〇(M2)長谷川 光勇¹、清水 荘雄¹、佐藤 祐介²、山岡 和希子²、石田 未来²、舟窪 浩¹ (1.東工大物院、2.TDK株式会社)

キーワード：強誘電体材料

(Bi, Na)TiO₃-BaTiO₃は非鉛材料の中でも高い圧電特性を示すことが知られておりの非鉛圧電材料の有望な候補の1つである。
一般に圧電用途を考えた場合、メモリ等に比べて厚い強誘電体膜が必要である。例としてセンサ用途では1 mm以上の膜厚が必要とされている。本研究ではパルスレーザー堆積法を用いて膜厚がマイクロメータオーダーの(Bi, Na)TiO₃-BaTiO₃膜の作製について研究を行った。