[19a-143-1~8] 6.6 プローブ顕微鏡

[19a-143-4] 強磁性共鳴を利用した磁場計測用カンチレバの作成

〇(DC)菅山 雅秀¹ (1.北大院情報科学)

キーワード：磁気力顕微鏡

本報告では，超常磁性限界により制限される空間分解能を越えるために，強磁性共鳴を利用した磁場計測カンチレバの開発を試みた。
SiO₂/Si基板上にEBリソグラフィで作成したCPWの中心電極上にパーマロイ薄膜を形成し，ベクトルネットワークアナライザ(Vector Network Analyzer: VNA)でSパラーメータ測定を行い，強磁性ピークシフトの測定を行った。