[19a-143-1~8] 6.6 プローブ顕微鏡

[19a-143-6] 原子間力顕微鏡によるSi(110)-(16x2)再構成表面の観察

〇山本 達也¹、和泉 遼¹、松本 克春¹、内藤 賀公¹、李 艶君¹、菅原 康弘¹、三木 一司² (1.阪大院工、2.兵庫工)

キーワード：原子間力顕微鏡、Si(110)、表面、真空

Si(110)-(16x2)再構成表面は自己形成ナノワイヤのテンプレート基板として現在注目されている。この再構成表面の構造モデルを解明するため、これまでに走査トンネル顕微鏡などによって様々な研究がなされてきたが、その構造モデルは未だ決定されていない。本研究では力学的に表面を観察する原子間力顕微鏡を用いてSi(110)-(16x2)を観測した。得られたデータから、その構造モデルについて議論する。