[19a-146-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [19a-146-1] 窒化ガリウムm面基板の高温安定性に基板オフ角が与える影響

〇吉田 健人¹、山野邉 咲子¹、小西 敬太¹、高島 信也²、江戸 雅晴²、熊谷 義直^1,3 (1.東京農工大院工、2.富士電機、3.東京農工大GIR)

キーワード：GaN、アニール、オフ角