[19a-224A-1~8] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[19a-224A-6] 有機金属気相成長法を用いた酸化ガリウム結晶成長の熱力学解析

〇山野邉 咲子¹、吉田 健人¹、小西 敬太¹、熊谷 義直^1,2 (1.東京農工大学大学院工、2.東京農工大学GIR)

キーワード：Ga2O3、MOVPE