[19a-PA4-1~13] 3.7 レーザープロセシング

[19a-PA4-13] 光渦パルスによるAu薄膜のマイクロ加工

〇(B)川本 実季¹、川越 匠²、中村 龍介³、中村 大輔²、尾松 孝茂^3,4 (1.九大工、2.九大シス情、3.千葉大院融合理工、4.千葉大分子キラリティー研)

キーワード：光渦、微細加工、マイクロ構造体

光渦は、螺旋状の波面に由来する軌道角運動量と環状強度分布を有する。最近では、光渦を用いたレーザープロセスに関する研究が注目を集めており、光渦をSi、Taなどの金属および半導体ターゲットに照射することで物体表面がキラルな構造に変形することが報告されている。本研究ではAu薄膜に対して光渦パルスを単一照射することで軌道角運動量に起因した螺旋構造をもつマイクロ針の作製に成功した。