[19a-PA4-1~13] 3.7 レーザープロセシング

[19a-PA4-4] フェムト秒レーザー照射によるCu基板表面のパターニング酸化

〇余 希¹、須藤 正明²、糸魚川 文広¹、小野 晋吾¹ (1.名工大、2.IMRA America, Inc.)

キーワード：フェムト秒レーザー加工、微細パターニング酸化

フェムト秒レーザー照射によって銅基板表面に数十マイクロメートルオーダーのパターニング酸化を行った。表面形状分析により、照射位置における1 µm以下の凝塊及び約400 nmの熱膨張が確認した。化学結合分析により、最表面のCuの減少に対して、CuOとCu₂Oの形成が確認できた。本発表はフェムト秒レーザー照射による銅基板表面の温度変化と熱遷移過程について報告する。