2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[19p-133-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

2018年9月19日(水) 13:45 〜 19:00 133 (133+134)

山田 智明(名大)、吉村 武(大阪府立大)、恵下 隆(和歌山大)、永沼 博(東北大)

13:45 〜 14:00

[19p-133-1] [講演奨励賞受賞記念講演] ScAlN, ZnOおよびPZT系薄膜の極性制御と分極反転デバイスへの応用

清水 貴博1,2、柳谷 隆彦1,2,3 (1.早大院・先進理工、2.材研、3.JSTさきがけ)

キーワード:PZT、ScAlN、ZnO