[19p-133-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-133-11] 非鉛強誘電体厚膜構造に与えるプロトンダメージの検討

〇山口 正樹^1,2、増田 陽一郎³、平出 惇¹ (1.芝浦工大工、2.芝浦工大RCGI、3.八戸工大工)

キーワード：強誘電体膜、プロトンビーム照射

高スペクト比加工が期待される収束プロトンビーム照射は，直接パターン描画だけではなく，強誘電体材料の改質効果も期待される．本報告では，プロトンビーム照射により非鉛強誘電体膜に導入されるダメージについて，理論解析を行った結果について述べる．