[19p-234A-1~10] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[19p-234A-2] 外径100μmのステンレス管への密接交互配置貫通スリット群の微細加工

〇堀内 敏行¹、髙橋 宏志¹、小林 宏史¹、柳田 明¹ (1.東京電機大)

キーワード：スリット網目管、レーザ走査露光、電解エッチング

細径管表面にレーザ走査リソグラフィにより形成したパターンをマスキング材として細径管を電解エッチングする微細加工技術を開発中である。今回、エッチング液を改良し、アンダーカットを考慮してスリットパターン寸法を最適化した結果、外径100µmのSUS304ステンレス管に、線幅50µm、長さ100µmのスリット群を45度毎にハーフピッチずらして30個×8行=240個配置したスリット網目管を製作できた。