[19p-234A-1~10] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[19p-234A-6] フレキシブルデバイス用の貫通穴電極の作製

〇(M1)本庄 一希¹、谷口 淳¹ (1.理科大基礎工)

キーワード：貫通穴電極

近年、フレキシブルデバイスが注目されているが、柔軟な基板の両面で相互接続し、2つの動作を行うデバイスの作製方法は確立されていない。そのため、我々は新たなフレキシブルデバイスの集積方法として、 紫外線ナノインプリントリソグラフィを用いて貫通穴を形成し、その部分に銀インクを充填させることで貫通穴電極を作製することを考案した。