[19p-234A-1~10] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[19p-234A-7] 水溶性ポリマーパターンを中間モールドとしたUVナノインプリント

〇川田 博昭¹、清水 進吾¹、安田 雅昭¹、平井 義彦¹ (1.大府大工)

キーワード：UV ナノインプリント、水溶性ポリマー

水溶性ポリマーパターンを中間モールドとしてUVナノインプリントを行なうプロセスを開発した。これにより、オリジナルのモールドには水溶性ポリマーが付着する場合があるが、それは水洗で簡単に除去できる。さらに、中間モールドは水に溶解するため、モールド離型を要さないUVナノインプリントができた。