[19p-311-9~14] 17.2 グラフェン

△ [19p-311-10] アルコールCVD法による絶縁体上へのグラフェンの直接生成と評価

〇辻本 茉里奈¹、橘 勝¹ (1.横浜市大生命ナノ)

キーワード：グラフェン、化学気相蒸着、絶縁体基板

グラフェンの電子デバイス応用に向けて、絶縁体基板上へのグラフェンの直接生成が行われている。本研究では、エタノールを用いたアルコールCVD法によるサファイア基板上へのグラフェンの直接生成を行い、成長過程についていくつかの知見を得た。発表では、生成物の詳細な形状評価の結果の報告と、絶縁体基板上でのグラフェンの成長過程を提案したい。