14:00 〜 14:15
[19p-438-2] 光コムを用いた高感度変位センシング技術の検討
キーワード:粗面計測、分光干渉、光コム
光コムのパルス干渉による粗面計測を目標として,回折格子をモーターで回転させる分光干渉法を付加し,産業的な応用が可能なフィゾー干渉計を開発した結果,高感度な計測が可能であることが分かった.
一般セッション(口頭講演)
3 光・フォトニクス » 3.8 光計測技術・機器
14:00 〜 14:15
キーワード:粗面計測、分光干渉、光コム