[19p-PA3-1~9] 3.15 シリコンフォトニクス

[19p-PA3-4] エアブリッジ構造シリコンフォトニック結晶薄板の裏面観察

〇田中 捺美¹、伊藤 隆浩¹、岡野 誠²、山田 浩治²、高橋 和¹ (1.大阪府大院工、2.産総研)

キーワード：シリコンフォトニック結晶