[19p-PB1-1~37] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-PB1-32] RFスパッタ法により非加熱堆積したNiO薄膜を用いたp型透明薄膜トランジスタの試作

〇岡田 浩明¹、田沼 涼¹、杉山 睦^1,2 (1.東理大　理工、2.東理大　総研)

キーワード：薄膜トランジスタ、酸化ニッケル、p型