[19p-PB2-1~8] 6.5 表面物理・真空

[19p-PB2-3] エアスプレー法によるカーボンナノチューブ薄膜の作製と導電性および透明性評価

〇金 勇一¹、西川 英一¹、渡邊 康之²、桑野 航平¹、阪本 優貴¹、黒須 聖樹¹ (1.東理大工、2.諏訪理大工)

キーワード：カーボンナノチューブ

CNTの薄膜を簡単な方法により作製すべく、エアスプレーを用いてCNT溶液を空気圧により噴霧する簡単な方法で、CNT薄膜を作製することが可能であるか検討した。エアスプレーで噴霧するCNT溶液のサンプルとして、名城ナノカーボン社製MWNT INK (MWNT:2wt%,H2O) 1mlを蒸留水10mlで希釈したCNT溶液1mlをエアスプレーのカップ(9ml)に充填し、エアスプレーのトリガーを調整しながらCNT溶液をスプレーした。エアスプレー法により成膜したCNT薄膜を、簡易型低抵抗率計で表面抵抗率の測定を行い、走査型電子顕微鏡SEMを用いて表面形状を観察したところ表面抵抗（シート抵抗）は400Ω／□であった。一般にタッチパネルでは、500Ω／□、液晶ディスプレイでは100Ω／□以下の抵抗値が求められているが、この方法により成膜したCNT薄膜は比較的良好な抵抗値であった。