[19p-PB8-1~23] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[19p-PB8-10] 熱処理に伴うβ-Ga₂O₃の物性および表面構造の変化

〇中谷 将大¹、陳 蕾¹、岡田 有史¹、Ferreyra Romuald A¹、上田 大助¹ (1.京工繊大)

キーワード：酸化ガリウム、表面構造、フォトルミネッセンス

ワイドギャップβ-Ga₂O₃(Eg = 4.8 eV)に大気中で熱処理を行うと試料の白色化とそれに伴う導電性の消失が見られ、減圧下で熱処理を行うと黒色化が見られた。また長時間熱処理を行った試料では顕著な表面構造の変化が起こった。白色化した試料では表面のステップは[010]方向に沿って成長しており高さ10 nm程度に増大していた。またこの試料のみ可視PLが観測された。この発光には化学状態の異なるSnドーパントが寄与していると考えられる。