[20a-141-1~13] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[20a-141-11] SiC上酸化膜の電気的ストレス耐性へのNOアニール効果

〇吉川 元気¹、蓮沼 隆¹ (1.筑波大学)

キーワード：シリコンカーバイド、NO アニール