[20a-143-1~8] 11.1 基礎物性

[20a-143-1] 高温超伝導体Bi₂Sr₂CaCu₂O_8+δを用いた円盤型テラヘルツ波発振素子のウエットエッチング法による作製と評価２

〇田邊 祐希¹、柏木 隆成¹、今井 貴之¹、村山 一哉¹、太田 隆晟¹、桑野 玄気¹、中村 健人¹、大野 雪乃¹、金子 陽太¹、楠瀬 慎二¹、中川 駿吾¹、辻本 学¹、山本 卓²、南 英俊¹、門脇 和男¹ (1.筑波大数理物質、2.デルフト工科大)

キーワード：高温超伝導体、テラヘルツ波、ジョセフソン効果

高温超伝導体Bi₂Sr₂CaCu₂O_8+δをメサ構造に加工し、c軸方向に電圧を印加することによりテラヘルツ帯の電磁波を得ることができる。特に、円盤型素子からは0.5-2.4 THzという広帯域発振が観測されている。また最近は、酸の溶液を用いたウエットエッチング法による素子作製が行われている。本発表では、従来のウエットエッチング法よりも排熱性が向上した素子作製工程、また直径サイズの異なる円盤型素子での発振特性の違いについて議論する。