[20a-231A-1~10] 9.1 誘電材料・誘電体

△ [20a-231A-2] 紫外光照射および熱処理後のIGZO膜中の酸素空孔量

〇(M2)高森 悠圭^1,3、森本 貴明^1,3、福田 伸子³、大木 義路^1,2 (1.早大先進理工、2.早大材研、3.産総研FLEC)

キーワード：溶液法、XPS、フォトルミネセンス

XPS測定によると，250，300℃焼成IGZO薄膜中の酸素空孔は，7.21eVの紫外光を照射すると増加し，250℃で熱処理すると減少するが，350℃焼成IGZO薄膜中の酸素空孔は，紫外光を照射してもほとんど増加しない。フォトルミネセンス(PL)を測定すると，2.2eV付近をピークとするPLの強度の変化の傾向が酸素空孔量の変化と同様であると判明した。PL測定も酸素空孔量の評価に有用であると言える。