[20a-331-1~13] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[20a-331-1] 位相シフト電子線ホログラフィーを用いたGaNナノワイヤー内部のドーパント分布の可視化

〇仲野 靖孝¹、松本 実子¹、穴田 智史¹、山本 和生¹、Si Young Bae²、田中 敦之²、本田 善央²、石川 由加里¹、天野 浩²、平山 司¹ (1.JFCC、2.名大)

キーワード：電子線ホログラフィー、窒化物半導体