[20a-PB9-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

△ [20a-PB9-14] 熱フィラメントCVD法による有機リン溶液を用いた単結晶ダイヤモンドの成長

〇片宗 優貴¹、有川 大輔¹、森 大地¹、和泉 亮¹ (1.九州工業大学)

キーワード：結晶成長、リンドープダイヤモンド、熱フィラメントCVD法