[20a-PB9-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[20a-PB9-8] 反応性スパッタリングで作製した窒化炭素薄膜の特性評価

〇(M1)吉田 大輝¹、大谷 直毅¹ (1.同志社大院理工)

キーワード：薄膜、窒化炭素、スパッタリング

ターゲットにCarbon(C)、反応性ガスとしてNitrogen(N₂)を用いた反応性スパッタリングによって窒化炭素薄膜を作製する。その後、膜厚や表面観察といった形状評価、FT-IRなどを利用した薄膜内部に存在する結合の解析などを行うことで、反応性スパッタリングで作製した窒化炭素薄膜がどういった特性を示しているかを明らかにする。