[20a-PB9-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[20a-PB9-9] アモルファス窒化炭素薄膜の光誘起変形における光熱効果の影響

〇青野 祐美¹、原田 人萌¹、北沢 信章¹ (1.防衛大材料)

キーワード：アモルファス、薄膜、窒化炭素