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△ [20p-212A-4] 二乗検波器の検波感度に対するFETのサブスレッショルド係数の効果
キーワード：サブスレッショルド係数、テラヘルツイメージング、二乗検波器
1 THz付近の電磁波は，分子間運動によって物質に吸収されるため，この周波数帯の電磁波を用いた実時間イメージングにより，多くの分野で新たな技術の提供が期待できる．我々は，FETを用いた二乗検波器をピクセルに配置した撮像素子の開発を進めている．今回，二乗検波器の高感度検波に向けてFETのS値が重要なパラメータであることを，検波特性の定式化と二乗検波器の作製・感度特性の比較より見出したので報告する．