[20p-212B-1~14] 11.4 アナログ応用および関連技術

△ [20p-212B-2] NbN製MKIDアレイの線幅依存性に関する検討

〇根岸 駿¹、有吉 誠一郎¹、三上 光瑠¹、橋本 智¹、中島 健介²、寺井 弘高³、田中 三郎¹ (1.豊橋技科大、2.山形大、3.情通機構)

キーワード：テラヘルツ波、力学インダクタンス検出器、超伝導

THz波は，電波の透過性と光波の直進性を兼ね備えており，物体の非破壊イメージングへの応用が期待されている．量子型検出器である力学インダクタンス検出器（MKID）は単層膜で作製でき，周波数分割による多画素同時読出しが可能なため，アレイ化が容易という利点がある．本研究では，窒化ニオブを用いた検出器の開発を行っており，共振器形状に着目し電磁界解析による設計と，作製による高感度なMKIDの実現を目的とした．