[20p-222-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[20p-222-1] 高純度ホモエピタキシャルダイヤモンド(111)成長

〇寺地 徳之¹、渡邊 賢司¹ (1.物材機構)

キーワード：ダイヤモンド、化学気相成長、純度

本研究では、酸素添加成長条件を(111)結晶成長に適したものに最適化し、(100)結晶と同様に高純度薄膜の成長を試みた。最適化した条件で74時間の成長を行うことで、膜厚が140µmのホモエピタキシャルダイヤモンド(111)薄膜を得た。カソードルミネッセンスでダイヤモンド中の不純物を評価したところ、窒素に関連する発光は観測されなかった。