[20p-222-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[20p-222-13] プラズマ照射によるDLCの親水性の付与と表面変化

〇(M1)鬼頭 大海¹、平塚 傑工³、中森 秀樹³、本間 章彦¹、平栗 健二²、大越 康晴¹ (1.電大理工、2.電大工、3.ナノテック（株）)

キーワード：DLC

Si基板に各種成膜したDLCに対し、O₂プラズマおよび大気圧Arプラズマを照射し、親水性の持続について、接触角の時間変化とプラズマ照射後の表面組成の変化から分析した。 結果、大気圧Arプラズマのほうが、接触角の変化が小さく、かつプラズマ照射後、不安定基であるO-C=Oが形成されていた。以上の分析結果から大気圧Arプラズマによる親水性付与の持続性が認められた。