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△ [20p-224A-4] 側壁Au構造を用いた面内駆動型光位相差変調素子の開発
キーワード：メタサーフェス、複屈折
巨大な複屈折が発生するAuナノフィンアレイに可動部を持たせた位相差変調素子を開発する．平行平板アクチュエータをモデルとし，透過率30%以上で174°から354°まで180°の範囲の位相差変調素子を設計した．素子を製作し，位相差測定を行い195°の初期位相差を確認した．電圧印加測定では位相差の変調は見られなかったが，これは可動部の梁状のリリースが不完全であったためだと考えられる．