[20p-PA2-1~35] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[20p-PA2-11] 水中での紫外線照射型ゾルゲル法による有機無機ハイブリッド薄膜の相溶性と反応速度の改善

〇(M1)大木 康平¹、大谷 直毅¹、實井 祐介¹ (1.同大理工)

キーワード：ゾルゲル法

ゾルゲル法による有機無機ハイブリッド薄膜の作製は高温の熱処理が必要であり、作製した素子が有機と無機の層に分離するという問題が残っていた。
そこで、水中に試料を沈めた状態で紫外線照射をすることで、加水分解の促進とゾルゲル反応速度の改善を目指し研究を行った。結果3分程度で加水分解が進み、大幅な時間短縮を可能とした。