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[20p-PA5-9] 高出力パルスマグネトロンスパッタによるプラズマ生成種の励起温度
キーワード:マグネトロンスパッタリング、プラズマ計測、光学的計測
近年、高出力パルスマグネトロンスパッタリング(HPPMS)によって生成するプラズマに対する組成分析や分光分析に関する研究が数多くなされている。本研究では、HPPMSにより生成されるプラズマ発光の原子スペクトル解析を通じて、プラズマ中に含まれる発光種の励起準位分布を表す指標となる励起温度を見積り、それらをもとにプラズマ内における原子・イオン過程について検討を試みる。