[21a-133-1~8] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [21a-133-1] 液相結晶化シリコン薄膜に対する水素プラズマパッシベーションの効果：レーザースキャン速度依存性

〇(P)海汐 寛史¹、松井 卓矢¹、齋 均¹、松原 浩司¹ (1.産総研)

キーワード：結晶シリコン薄膜、薄膜シリコン太陽電池、液相結晶化

低コストかつ高効率な太陽電池材料として、a-Si薄膜をラインレーザーでスキャンし溶融・固化する液相結晶化法（Liquid Phase Crystallization：LPC）により作製される、液相結晶化シリコン薄膜(LPC-Si)が提案されている。LPC-Siの高品質化には水素プラズマパッシベーション(HPP)が不可欠であるが、HPPの影響まで含めたLPC条件の最適化は成されていない。本研究では、異なるレーザーのスキャン速度で作製された複数のLPC-Siの電気特性に対し、HPPが与える影響の差を調査した。