[21a-136-1~12] 8.5 プラズマ現象・新応用・融合分野

[21a-136-11] マイクロプラズマ電極表面上の微粒子除去の研究

〇野中 大輔¹、マリウス ブラジャン¹、ヤロスラヴ クリストフ¹、米田 仁紀²、清水 一男¹ (1.静大、2.電通大)

キーワード：マイクロプラズマ、微粒子除去、プラズマアクチュエータ

近年，微小粒子状物質（PM2.5）が大気汚染や人体に悪影響を及ぼすため，非常に問題視されている．微粒子に関する問題は大気中に浮遊する微粒子だけでない．半導体産業において微粒子がウエハ上に堆積することによる製品の品質低下を引き起こすなど，物質の表面に堆積することで問題を誘発する微粒子も数多くある．そこで，本研究では物質の表面に付着した微粒子の除去を目的に，マイクロプラズマ電極表面上の微粒子の除去の実験的検討を行った．