[21p-146-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

[21p-146-10] DCスパッタAlN膜の高温アニールによる表面状態の変化

〇茂手木 省吾^1,2、最上 耀介^1,2、大澤 篤史³、尾﨑 一人³、谷岡 千丈³、前岡 淳史³、定 昌史²、前田 哲利²、矢口 裕之¹、平山 秀樹² (1.埼玉大、2.理研、3.スクリーン社)

キーワード：DCスパッタリング、高温アニーリング