[21p-431B-1~7] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

[21p-431B-6] 有機ー無機ハイブリッド構造ZnSe系紫外集積型APDの開発
~窓層形成プロセスの最適化~

〇市川 悠喜¹、田中 圭汰¹、藤井 裕太¹、河原 拓朗¹、中川 和樹¹、吉田 健太郎¹、阿部 友紀¹、笠田 洋文¹、安東 孝止¹、市野 邦男¹、赤岩 和明¹ (1.鳥取大工)

キーワード：ZnSe系紫外アバランシェ・フォトダイオード、有機ー無機ハイブリッド構造

本研究では，無機材料のZnSSeと有機導電材料のPEDOT:PSSのハイブリッド構造をもつ紫外アバランシェ・フォトダイオード(APD)の開発を行っている．これまでハイブリッド構造APDを作製する際に，窓層となるPEDOT:PSSの形成にインクジェット法を用いていたが，形状や素子特性の均一性維持が困難であった．そこで今回，窓層形成プロセスとしてフォトリソグラフィによるプロセスの最適化を試みた．