PDF ダウンロード スケジュール 10 いいね! 0 コメント (0) 13:30 〜 15:30 [21p-PB1-14] 長尺大面積平行平板電極型誘電体バリア放電を用いた フッ素樹脂の表面処理 〇杉山 和也1、荻野 明久1、永津 雅章1,2 (1.静大院工、2.静岡大学電子工学研究所) キーワード:プラズマ表面処理、フッ素樹脂、大面積プラズマ