16:00 〜 16:30 [19p-C102-6] MEMS技術を用いた300GHz帯TWTの開発 〇増田 則夫1、岡本 耕治1、吉田 満1、関根 徳彦2、菅野 敦史2、蔦木 邦夫3 (1.NECネットワーク・センサ、2.情報通信研究機構、3.静岡大学)