09:15 〜 09:30 [20a-C204-2] アクティブスクリーンプラズマによる窒化とその評価 〇(P)市村 進1、高島 成剛1、流水 一平2、大久保 大地2、松尾 英明2、後藤 峰男2 (1.PLACIA、2.中日本炉工業)