17:45 〜 18:00 [18p-A202-12] 先端半導体素子信頼性のデバイスシミュレーション 〇石原 貴光1、松澤 一也1、内藤 毅2、吉富 貞幸2 (1.東芝メモリ(株)メモリ技術研究所、2.東芝メモリ(株)メモリ事業部)