13:30 〜 15:30 [17p-P2-5] MOD法によりSi3N4/SiO2メンブレン上に製作したVOxマイクロボロメータのDC感度測定 〇(M2)前田 幸平1、ヴァン ニュ ハイ1、西岡 國生2、松谷 晃宏2、立木 隆1、内田 貴司1 (1.防衛大、2.東工大マイクロプロセス)